MEMS本硕贯通课程-制造工艺2

MEMS本硕贯通课程-制造工艺2

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年级:大学
科目:高等教育
周长见
2026-04-07
1 颗豆豆
1. 单选题
60 秒

关于刻蚀工艺,下面说法错误的是

基于KOH湿法腐蚀的体硅刻蚀工艺具有各向异性的刻蚀效果

表面微加工工艺可用于CMOS集成工艺中

基于HF+HNO3的刻蚀工艺具有各向异性的刻蚀效果

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